GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 14264-2009
被代替
国家标准
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 Semiconductor materials—Terms and definitions
基本信息
标准编号:
GB/T 14264-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属与半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
页数:
52 页
适用范围
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。
研制信息
起草单位:
中国有色金属工业标准计量质量研究所、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、国瑞电子材料有限责任公司
起草人:
孙燕、黄笑容、向磊、翟富义、卢立延、郑琪、邓志杰、贺东江
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
ASTM F1241
SEMI M59