GB/T 14264-1993
被代替
T/CASME 2139-2026
现行
团体标准
T/CASME 2139-2026 半导体二谐波晶圆检测设备性能测试方法
T/CASME 2139-2026 Test method for performance of semiconductor second harmonic wafer inspection equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 2139-2026
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医用电子仪器设备
国际标准分类名称:
半导体器分立件综合
发布日期:
2026-01-30
实施日期:
2026-03-01
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
本文件适用于半导体制造过程中用于非接触、无损伤的二谐波晶圆检测设备的性能测试。 本文件规定了半导体二谐波晶圆检测设备性能测试的测试条件、晶圆样品、测试内容、测试方法、测试数据处理、质量保证和控制以及测试报告等内容
研制信息
起草单位:
上海微崇半导体设备有限公司、北京科技职业大学、北京六只猫创意科技有限公司、北京工业大学、北京中泽华控科技有限公司
起草人:
周朴希、李金义、周琳、杨笛、乐志斌、夏卫彬、闫子轻