GB/T 3143-1982
现行
GB/T 34326-2026
现行
国家标准
GB/T 34326-2026 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法
GB/T 34326-2026 Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
价格:
$ 49.00
基本信息
标准编号:
GB/T 34326-2026
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2026-01-28
实施日期:
2026-08-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
页数:
24 页
适用范围
本文件描述了在俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)中使用惰性气体离子的离子束对准方法,以确保溅射深度剖析中的良好深度分辨和表面的最佳清洁。这些方法有两类:一类是用法拉第杯测量离子束流;另一类是成像方法。其中,法拉第杯法还规定了离子束流密度和束流分布的测量要求。
本文件适用于束斑直径小于或等于1 mm 的离子枪,但不包括深度分辨优化。
研制信息
起草单位:
北京师范大学、中国计量科学研究院、季华实验室、国家纳米科学中心
起草人:
吴正龙、王海、范燕、徐鹏、王梅玲、张艾蕊
替代以下标准
引用标准
ISO 18115-1
采用标准
ISO 16531:2020