GB 5959.1-1986
被代替
GB/T 10067.417-2023
现行
国家标准
GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置
GB/T 10067.417-2023 Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations
基本信息
标准编号:
GB/T 10067.417-2023
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业电热设备
国际标准分类名称:
电炉
发布日期:
2023-05-23
实施日期:
2023-12-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC 121)
页数:
16 页
适用范围
本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。本文件适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。
研制信息
起草单位:
江苏星特亮科技有限公司、西安电炉研究所有限公司、安徽瑞驰新能源有限公司、河南天利热工装备股份有限公司、厦门晓讯新能源科技有限公司、成都粤海金半导体材料有限公司、州市乐萌压力容器有限公司、河北同光半导体股份有限公司、张家港市中亚特种变压器制造有限公司、西安慧金科技有限公司、株洲瑞德尔智能装备有限公司、中山市合硕高品电器有限公司、广东飞成新材料有限公司、西安福莱特热处理有限公司
起草人:
李留臣、余维江、李琨、曹姣、谢萍、张永武、李明科、赵然、潘燕萍、杨昆、周正星、李小杰、陈佩娴、金星宇、尹丹、段春芳、杨祯
同系列标准
引用标准
GB/T 2900.23-2008 电工术语 工业电热装置
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GB/T 10067.1-2019 电热和电磁处理装置基本技术条件 第1部分：通用部分
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