GB/T 3143-1982
现行
GB/T 22572-2008
现行
国家标准
GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
GB/T 22572-2008 Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
基本信息
标准编号:
GB/T 22572-2008
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2008-12-11
实施日期:
2009-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会
页数:
7 页
适用范围
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
研制信息
起草单位:
信息产业部专用材料质量监督检验中心
起草人:
马农农、何友琴、何秀坤
引用标准
采用标准
ISO 20341:2003