GB 4962-1985
被代替
GB/T 14602-2014
被代替
国家标准
GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢
GB/T 14602-2014 Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
基本信息
标准编号:
GB/T 14602-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2014-12-22
实施日期:
2015-07-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。
研制信息
起草单位:
北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司
起草人:
张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
GB l5258
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB/T 5832.3-2011 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14193-2009 液化气体气瓶充装规定
GB 16804-1997 气瓶警示标签
GB/T 16804-2011 气瓶警示标签
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 14193.1-2025 液化气体气瓶充装规定 第1部分：工业气瓶
GB/T 5832.3-2025 气体分析 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法