GB 4962-1985
被代替
GB/T 14603-2025
现行
国家标准
GB/T 14603-2025 电子气体 卤化物气体
GB/T 14603-2025 Electronic gas—Halide gas
基本信息
标准编号:
GB/T 14603-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2025-08-01
实施日期:
2026-02-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
32 页
适用范围
本文件规定了卤化物气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。
本文件适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体。
研制信息
起草单位:
昊华气体有限公司西南分公司、福建德尔科技股份有限公司、山东合益气体股份有限公司、浙江瑞亨电子材料有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、福建福豆新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建永晶科技股份有限公司、迪森尔(北京)科技有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、广州广钢气体能源股份有限公司、同方威视技术股份有限公司、北京鉴知技术有限公司、宁波从越科技创新有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、杭州云必技术有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、朗析仪器(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、中国计量大学、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量测试学会、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、上海凡伟仪器设备有限公司、贵州省产品质量检验检测院、宿州伊维特新材料有限公司、西南化工研究设计院有限公司
起草人:
赖晓峰、陈施华、杨军、李建新、郭晓俊、马建修、李嘉磊、王哲军、李智、孙芳、郭琼、侯鹏、钱吉、赵斌、吴希湖、刘春花、李文、李长健、彭佛晓、任如、徐正军、郑存强、倪志远、赵晓兰、董晓阳、陆岩柱、陈志强、王红球、黄韬、汤萍、吴禹强、何经余、李景升、赵银凤、施旖旎、陈艳珊、杨俊豪、王新喜、刘光宇、吕磊、李庭辉、郑秋艳、滕鑫胜、孙福楠、常侠、牛迪、殷昊、王若雯、赵跃、王军锋、李安林、方华、辛伶、杜雨桐、黄辉、李建浩、王祥科、张金波、李明、宫兵、张朋越、赵洁、杨扬仲夫、任希辉、何波、唐中伟、程化鹏、谈益强、尹乐乐、周鹏云、唐霞梅
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