GB/T 3143-1982
现行
GB/T 34971-2017
现行
国家标准
GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
GB/T 34971-2017 Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
基本信息
标准编号:
GB/T 34971-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2017-11-01
实施日期:
2018-02-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
20 页
适用范围
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。
研制信息
起草单位:
中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院
起草人:
孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云