GB/T 13259-1991
被代替
T/CZZMXH 010-2024
现行
团体标准
T/CZZMXH 010-2024 193 nm紫外灯及光源系统辐射特性测量方法
T/CZZMXH 010-2024 Measurements of radiation characteristics of 193 nm UV lamps and light source systems
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CZZMXH 010-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
荧光灯、放电灯
发布日期:
2024-01-16
实施日期:
2024-01-16
归口单位:
常州市照明电器协会
适用范围
范围:本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。 本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用; 主要技术内容:本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用。4 测量参数5 测试原理6 仪器设备7 测试要求8 测试步骤9 数据处理
研制信息
起草单位:
常州玉宇电光器件有限公司、复旦大学电光源研究所、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州市照明电器协会
起草人:
殷尧平、韩秋漪、万小玲、陆旭峰、徐琴玉、张善端、庄燕忠、李丁强、徐虹、刘朝霞、孙鹤源、孙瑜、张亮、杨静华