GB/T 2596-1981
废止
GB/T 6620-1995
被代替
国家标准
GB/T 6620-1995 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 6620-1995 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning
基本信息
标准编号:
GB/T 6620-1995
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料化学分析
发布日期:
1995-04-18
实施日期:
1995-12-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
页数:
8 页
研制信息
起草单位:
洛阳单晶硅厂
起草人:
王从赞、郭瑾、袁景怡
替代以下标准
GB 6620-1986
被以下标准替代
采用标准
ASTM F657-1991