GB/T 13840-1992
废止
YS/T 791-2012
现行
行业标准-有色金属
YS/T 791-2012 铂靶
YS/T 791-2012 Platinum target
基本信息
标准编号:
YS/T 791-2012
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
贵金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属及其合金
发布日期:
2012-11-07
实施日期:
2013-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司
起草人:
王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩