GB/T 13840-1992
废止
YS/T 839-2012
现行
行业标准-有色金属
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
YS/T 839-2012 Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
基本信息
标准编号:
YS/T 839-2012
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
贵金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属及其合金
发布日期:
2012-11-07
实施日期:
2013-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
10 页
适用范围
1.1本方法规定了用椭圆偏振测试方法测量生长或沉积在硅衬底上的绝缘体薄膜厚度及折射率的方法。
1.2本方法适用于薄膜对测试波长没有吸收和衬底对测试波长处不透光、且已知测试波长处衬底折射率和消光系数的绝缘体薄膜厚度及折射率的测量。对于非绝缘体薄膜，满足一定条件时,方可采用本方法。
研制信息
起草单位:
中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司
起草人:
高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎