GB/T 1957-1981
被代替
GB/T 24468-2009
被代替
国家标准
GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
GB/T 24468-2009 Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
基本信息
标准编号:
GB/T 24468-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子测量与仪器
国际标准分类名称:
测量仪器仪表
发布日期:
2009-10-15
实施日期:
2009-12-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备与材料标准化技术委员会
页数:
36 页
适用范围
2.1本标准定义了设备的六个基本状态，所有的设备条件和阶段都必须归入这六个状态。设备的状态由功能决定，而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上，而不是设备失效和设备经历的(日历)总时间之间的关系。
研制信息
起草单位:
中国电子技术标准化研究所
起草人:
黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝
被以下标准替代
引用标准
SEMI E35
SEMI E58
SEMI E79
SEMI E116
采用标准
SEMI E10-0304