GB 4962-1985
被代替
GB/T 32386-2015
现行
国家标准
GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
GB/T 32386-2015 Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
基本信息
标准编号:
GB/T 32386-2015
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2015-12-31
实施日期:
2016-07-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
15 页
适用范围
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式：WF6。分子量：297.830 419 2（按2009年国际相对原子质量计算）。
研制信息
起草单位:
中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司
起草人:
郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云
引用标准
TJ 36-79
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB/T 5275.10-2009 气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第10部分：渗透法
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14193-2009 液化气体气瓶充装规定
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 16804-1997 气瓶警示标签
GB/T 16804-2011 气瓶警示标签
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T 14193.1-2025 液化气体气瓶充装规定 第1部分：工业气瓶
GB/T 28726-2025 气体分析 氦离子化气相色谱法