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GB/T 32386-2015 现行

GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨

可用格式
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语言
中文版
发布日期
2015-12-31
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

简介

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830 419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。

通用商品信息

委员会 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
文献类型 国家标准
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准状态 现行
标准编号 GB/T 32386-2015
CCS 工业气体与化学气体
ICS 工业气体
实施日期 2016-07-01
价格 $ 44.00
小计 $ 44.00
税费 $ 0.00
订单总额(含税) $ 44.00

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