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GB/T 32386-2015 现行
GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
简介
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830 419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 32386-2015 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2016-07-01 |
价格
$ 44.00
小计
$ 44.00
税费
$ 0.00
订单总额(含税)
$ 44.00