GB/T 3769-1983
被代替
T/GVS 007-2022
现行
团体标准
T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法
T/GVS 007-2022 Radio Frequency Power Dynamic Resistance Test Method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/GVS 007-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电工
国际标准分类名称:
电工和电子试验
发布日期:
2022-07-11
实施日期:
2022-07-11
归口单位:
广东省真空学会
页数:
18 页
适用范围
范围:本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。 本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试; 主要技术内容:规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试
研制信息
起草单位:
深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司
起草人:
乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞