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T/GVS 007-2022 现行
T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法
简介
范围:本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。 本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试; 主要技术内容:规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试
通用商品信息
| 委员会 | 广东省真空学会 |
|---|---|
| 文献类型 | 团体标准 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 007-2022 |
| CCS | 电工 |
| ICS | 电工和电子试验 |
| 实施日期 | 2022-07-11 |
价格
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小计
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税费
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订单总额（含税）
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