GB/T 3143-1982
现行
GB/T 36401-2018
现行
国家标准
GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
GB/T 36401-2018 Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
基本信息
标准编号:
GB/T 36401-2018
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2018-06-07
实施日期:
2019-05-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
42 页
适用范围
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。
研制信息
起草单位:
厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系
起草人:
汤丁亮、李展平、岑丹霞、姚文清、刘芬、王水菊
引用标准
ISO 18115-1:2010
采用标准
ISO 13424:2013