DZ/T 0101.12-1994
现行
JJF 1932-2021
现行
国家计量技术规范JJF
JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范
JJF 1932-2021 Calibration Specification for Ellipsometers
基本信息
标准编号:
JJF 1932-2021
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2021-12-08
实施日期:
2022-06-08
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局
归口单位:
全国光学计量技术委员会
页数:
24 页
适用范围
本规范适用于波长范围在250 nm~2 000 nm内的椭偏仪的校准。
研制信息
起草单位:
中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所
起草人:
刘文德、陈赤、王雷
引用标准
GJB/J 5463
SEMI E141-0705
Handbook of Ellipsometry 椭偏术手册 HG Tompkins and EA Irene (eds.) William Andrew Publishing 2005
Ellipsometry and Polarized Light 椭偏术和偏振光 RMA Azzam and NM Bashara North-Holland Physics Publishing 1977
JJF 1497-2014 偏光仪校准规范