GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 983-2024
现行
行业标准-有色金属
YS/T 983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法
YS/T 983-2024
基本信息
标准编号:
YS/T 983-2024
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2024-10-24
实施日期:
2025-05-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
适用范围
本文件适用于三氯氢硅法生产硅多晶还原炉尾气成分的测定
研制信息
起草单位:
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