GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 983-2014
废止
行业标准-有色金属
YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
YS/T 983-2014 Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
基本信息
标准编号:
YS/T 983-2014
标准类型:
行业标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2014-10-14
实施日期:
2015-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。
研制信息
起草单位:
四川新光硅业科技有限责任公司
起草人:
敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽