GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 1703-2024
现行
行业标准-有色金属
YS/T 1703-2024 晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法
YS/T 1703-2024 Test of surface particles on chip packaging trays for counting liquid particles in YS/T 1703-2024
基本信息
标准编号:
YS/T 1703-2024
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2024-10-24
实施日期:
2025-05-01
发布单位/组织:
工业和信息化部
适用范围
本文件适用于直径100mm、125mm、150mm、200mm、300mm的硅抛光片、硅外延片、SOI片及其他材质的半导体晶片包装片盒颗粒洁净度的测试
研制信息
起草单位:
起草人: