GB/T 15678-2010
现行
T/WHQASA 12-2024
现行
团体标准
T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
T/WHQASA 12-2024 10.5G Chemical Vapor Deposition equipment with lower heating base
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/WHQASA 12-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化工机械
国际标准分类名称:
其他化工设备
发布日期:
2024-12-30
实施日期:
2024-12-30
归口单位:
芜湖市质量与标准化协会
适用范围
范围:本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。 本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付; 主要技术内容:1范围2规范性引用文件3术语和定义4要求5试验方法6检验规则7标志和随行文件8包装、运输和贮存
研制信息
起草单位:
芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司
起草人:
司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽