GB/T 6060.2-1985
被代替
GB/T 36969-2018
现行
国家标准
GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
GB/T 36969-2018 Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
基本信息
标准编号:
GB/T 36969-2018
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
表面特征
发布日期:
2018-12-28
实施日期:
2018-12-28
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
页数:
9 页
适用范围
本标准规定了使用原子力显微术（AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
研制信息
起草单位:
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人:
李慧琴、金承钰、梁齐、何丹农、韦菲菲