GB/T 6060.2-1985
被代替
GB/T 31227-2014
现行
国家标准
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
GB/T 31227-2014 Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
基本信息
标准编号:
GB/T 31227-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
表面特征
发布日期:
2014-09-30
实施日期:
2015-04-15
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
研制信息
起草单位:
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人:
李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰