GB/T 5463.1-1985
被代替
T/CMES 32001-2023
现行
团体标准
T/CMES 32001-2023 磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范
T/CMES 32001-2023 Magnetron sputtering process specification for preparing indium oxide/tungsten-rhodium alloy/indium tin oxide (ITO/WR/ITO) composite thin films for thermocouple temperature sensors
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CMES 32001-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
非金属矿
发布日期:
2023-06-21
实施日期:
2023-07-21
归口单位:
中国机械工程学会
适用范围
主要技术内容:本文件给出了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范及相关规定
研制信息
起草单位:
西安交通大学、中北大学、中冶赛迪工程技术股份有限公司、上海交通大学、清华大学、北京临近空间飞行器系统工程研究所、西安慧金科技有限公司
起草人:
张仲恺、雷嘉明、李乐、刘兆钧、田边、方续东、韩香广、赵立波、董和磊、漆锐、谭庆、余维江、钟星立、冯科、张丛春、阮勇、崔占中、李小杰