GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 37213-2018
现行
国家标准
GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法
GB/T 37213-2018 Test method for silicon brick dimension—Laser technology method
基本信息
标准编号:
GB/T 37213-2018
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2018-12-28
实施日期:
2019-11-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。
研制信息
起草单位:
苏州协鑫光伏科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、山东大海新能源发展有限公司
起草人:
宫龙飞、金善明、林清香、夏根平、唐珊珊、刘坤