GB/T 3163-1993
被代替
T/CITS 402-2025
现行
团体标准
T/CITS 402-2025 金属薄膜电容式真空计
T/CITS 402-2025 Metal film capacitive vacuum gauge
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CITS 402-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2025-05-12
实施日期:
2025-05-12
归口单位:
中国检验检测学会
适用范围
范围:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用; 主要技术内容:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用
研制信息
起草单位:
北京中科九微科技有限公司、上海梅科伍德电子科技有限公司、中国科学院微电子研究所、四川景恒科技有限公司、陕西君研科技有限公司、华中科技大学、东北大学、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司
起草人:
陈林、鲍春、张心强、冉锐、张燕斌、傅邱云、杜广煜、宋铠钰、谢志清、张滔、王大钊、刘玉润、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王艳杰、徐敬铭、包瑾、王志豪