GB/T 3163-1993
被代替
GB/T 11164-1999
被代替
国家标准
GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 11164-1999 Vacuum coating plant generic specification
基本信息
标准编号:
GB/T 11164-1999
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
真空技术与设备
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
1999-04-08
实施日期:
1999-09-01
发布单位/组织:
国家质量技术监督局
归口单位:
全国真空技术标准化技术委员会
页数:
7 页
研制信息
起草单位:
上海曙光机械制造厂、沈阳真空技术研究所
起草人:
张树中、李春影、李玉英
替代以下标准
GB 11164-1989