GB 4962-1985
被代替
T/ZZB 1373-2019
现行
团体标准
T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨
T/ZZB 1373-2019 7N optical-grade ultra-pure ammonia
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZZB 1373-2019
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2019-11-27
实施日期:
2019-12-31
归口单位:
浙江省质量协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式： NH3。相对分子质量： 17.031（按 2016 年国际相对原子量）
研制信息
起草单位:
本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位：海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位：浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）
起草人:
陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）