GB/T 14293-1998
现行
T/CSEA 26-2023
现行
团体标准
T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
T/CSEA 26-2023 Electron beam physical vapor deposition of 8YSZ ceramic target material for technical specifications
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CSEA 26-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
表面处理和镀涂综合
发布日期:
2023-02-07
实施日期:
2023-03-01
归口单位:
中国表面工程协会
适用范围
范围:本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材; 主要技术内容:表18YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量化学成分/wt. %主成分含量杂质含量Y2O3+ZrO2(HfO2)HfO2Y2O3Al2O3Fe2O3SiO2TiO2CaOMgOCl-碳残留≥99.65<27-8≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.06≤0.15
研制信息
起草单位:
北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学
起草人:
何箐、邹 晗、王世兴、王璐、彭徽