GB/T 4855-1984
废止
GB/T 16878-1997
现行
国家标准
GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
GB/T 16878-1997 Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
基本信息
标准编号:
GB/T 16878-1997
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
1997-06-20
实施日期:
1998-03-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
电子工业部标准化研究所
页数:
16 页
研制信息
起草单位:
中国科学院微电子中心
起草人:
陈宝钦、陈森锦、廖温初
引用标准
SJ/T 10152-91
SJ/T 10584-94
采用标准
SEMI P19:1992