DZ/T 0101.12-1994
现行
T/CEMIA 042-2024
现行
团体标准
T/CEMIA 042-2024 半导体硅片清洗用石英槽
T/CEMIA 042-2024 Silicon Wafer Cleaning Quartz Tank
价格:
$ 31.00
基本信息
标准编号:
T/CEMIA 042-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中国电子材料行业协会
适用范围
本文件规定了半导体硅片清洗用石英槽的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、清洗、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体硅片清洗用石英槽，以下简称石英槽。