GB 4962-1985
被代替
T/DLSHXH 015-2024
现行
团体标准
T/DLSHXH 015-2024 电子气体 乙硼烷/氮气混合气体
T/DLSHXH 015-2024 Electronic gas mixture of boron trifluoride and nitrogen gas
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/DLSHXH 015-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2024-08-01
实施日期:
2024-11-01
归口单位:
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子气体乙硼烷/氮气混合气体的技术要求、制备、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输及安全信息。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的乙硼烷/氮气混合气体
研制信息
起草单位:
大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会、全椒科利德电子材料有限公司
起草人:
施旖旎、王明月、李庆东、张哲、于洪涛、阮树堃、张英达