T/NMSP T/NMSP.MZB04.04-2024
现行
T/CHBAS 33-2023
现行
团体标准
T/CHBAS 33-2023 集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖
T/CHBAS 33-2023 Mixed gas for integrated circuits, 4.5% hydrogen chloride/0.9% hydrogen/neon
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CHBAS 33-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
其他
发布日期:
2023-07-27
实施日期:
2023-07-27
归口单位:
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖的技术要求、试验方法、检验规则、标志、 标签、 包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖（以下简称4.5%氯化氢/0.9%氢/氖），其它组分比例的氯化氢/氢/氖混合气可参照执行
研制信息
起草单位:
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中国质量协会
起草人:
殷越玲、 贾宣东、 李帅楠、 李旭、魏晓娟、王蒙蒙、袁攀攀、吴冉冉