YS/T 1392-2020 现行行业标准-有色金属

YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

YS/T 1392-2020 Determination of Content of Chlorosilane Components by Gas Chromatography

发布日期: 2020-12-09 实施日期: 2021-04-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请联系我们

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标准编号: YS/T 1392-2020

标准类型: 行业标准

标准状态: 现行

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中国标准分类名称: 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类名称: 金属材料试验

发布日期: 2020-12-09

实施日期: 2021-04-01

发布单位/组织: 工业和信息化部

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。