GB 4962-1985
被代替
GB/T 34085-2017
现行
国家标准
GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷
GB/T 34085-2017 Gas for electronic industry—Trifluoromethane
基本信息
标准编号:
GB/T 34085-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2017-07-31
实施日期:
2017-11-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。分子式：CHF3。相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量)。
研制信息
起草单位:
国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司
起草人:
陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、王鸿、崔学文、周朋云
引用标准
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB/T 5832.3-2011 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14193-2009 液化气体气瓶充装规定
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 16804-1997 气瓶警示标签
GB/T 16804-2011 气瓶警示标签
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
TSG R0006-2014 气瓶安全技术监察规程
GB/T 14193.1-2025 液化气体气瓶充装规定 第1部分：工业气瓶
GB/T 5832.3-2025 气体分析 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法
GB/T 28726-2025 气体分析 氦离子化气相色谱法