GB 4962-1985
被代替
GB/T 34091-2017
现行
国家标准
GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
GB/T 34091-2017 Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
基本信息
标准编号:
GB/T 34091-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2017-07-31
实施日期:
2017-11-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C2F6。相对分子质量：138.012 4（按2013年国际相对原子质量)。
研制信息
起草单位:
浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司
起草人:
史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云
引用标准
危险化学品安全管理条例(2002年版)
特种设备安全监察条例(2009年版)
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB/T 5832.1-2003 气体湿度的测定 第1部分：电解法
GB/T 5832.1-2016 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14193-2009 液化气体气瓶充装规定
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 16804-1997 气瓶警示标签
GB/T 16804-2011 气瓶警示标签
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
TSG R0006-2014 气瓶安全技术监察规程
GB/T 14193.1-2025 液化气体气瓶充装规定 第1部分：工业气瓶
GB/T 28726-2025 气体分析 氦离子化气相色谱法