GB/T 3163-1993
被代替
T/CEPEA 0201-2023
现行
团体标准
T/CEPEA 0201-2023 电容薄膜真空计
T/CEPEA 0201-2023 Capacitive film vacuum gauge
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CEPEA 0201-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2025-01-22
实施日期:
2025-02-15
归口单位:
中国电子专用设备工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准主要规定了采用薄膜电容测量原理的电容薄膜真空计的术语和定义、结构和分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存要求，主要技术内容包括：——预热时间、量程、分辨力、准确度、漏率等基本性能指标要求；——电磁兼容方面的要求；——各项性能指标对应的试验方法以及检验规则等要求
研制信息
起草单位:
北京华丞电子有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、一道新能源科技股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司
起草人:
张锋、栗晓、高建强、刘建、杨宝立、王在林、闫方亮、刘紫洋