GB/T 3212-1982
废止
T/ACCEM 612-2025
现行
团体标准
T/ACCEM 612-2025 高端石英空白掩模版及工艺装备
T/ACCEM 612-2025 High-end quartz blank mask plate and process equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ACCEM 612-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医用电子仪器设备
国际标准分类名称:
电子显示器件
发布日期:
2025-07-10
实施日期:
2025-08-08
归口单位:
中国商业企业管理协会
适用范围
本文件规定了高端石英空白掩模版及相关工艺装备的术语和定义、工艺装备、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。 本文件适用于由石英基板、低反射率Cr膜和光刻胶层组成的掩模版
研制信息
起草单位:
成都中科卓尔智能科技集团有限公司、成都绛溪未来光电科技有限公司、中导微半导体科技（北京）有限责任公司
起草人:
杨伟、张小林、王波、宋影松、杨鹏、察兴岭