GB/T 3143-1982
现行
GB/T 42659-2023
现行
国家标准
GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
GB/T 42659-2023 Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
基本信息
标准编号:
GB/T 42659-2023
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2023-08-06
实施日期:
2024-03-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
53 页
适用范围
本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在：
——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性；
——明确校准程序及验收条件的最低要求；
——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）；
——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）；
——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度；
——规定报告结果的要求。
研制信息
起草单位:
中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学
起草人:
李伟、蔡潇雨、李适、杨树明、程碧瑶、魏佳斯、高思田
引用标准
ISO 11039
ISO 18115-2
ISO/IEC Guide 98-3
IEC/TS 62622
采用标准
ISO 11952:2019