GB 7228-1987
废止
T/CITS 267-2025
现行
团体标准
T/CITS 267-2025 中频磁控溅射电源技术要求
T/CITS 267-2025
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CITS 267-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
整流器、转换器、稳压电源
发布日期:
2025-02-19
实施日期:
2025-02-19
归口单位:
中国检验检测学会
适用范围
范围:本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用; 主要技术内容:本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用
研制信息
起草单位:
固赢科技（深圳）有限公司、哈尔滨工业大学、成都众鑫达科技有限公司、深圳市三束镀膜技术有限公司、苏州精新汇能电源科技有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司
起草人:
刘力、徐梁格、曾旭初、冯红涛、魏智博、张斌、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王艳杰、徐敬铭、包瑾、陈致杭