GB/T 3143-1982
现行
GB/T 20175-2025
现行
国家标准
GB/T 20175-2025 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
GB/T 20175-2025 Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials
价格:
$ 50.00
基本信息
标准编号:
GB/T 20175-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2025-06-30
实施日期:
2026-01-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
24 页
适用范围
本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。
本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。
研制信息
起草单位:
清华大学、中国矿业大学(北京)、中国人民公安大学、北京大学、中山大学、中国工程物理研究院材料研究所
起草人:
李展平、郭冲、章宇娟、刘婕、满瀚泽、孙令辉、徐建业、李芹、马静怡、周凌、胡小康、陈建、伏晓国
替代以下标准
引用标准
ISO 18115-1
采用标准
ISO 14606:2022