GB/T 3143-1982
现行
GB/T 20175-2006
现行
国家标准
GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
GB/T 20175-2006 Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered system as reference materials
基本信息
标准编号:
GB/T 20175-2006
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子光学与其他物理光学仪器
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2006-03-27
实施日期:
2006-11-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束标准化技术委员会
页数:
18 页
适用范围
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。
研制信息
起草单位:
清华大学电子工程系
起草人:
查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东
采用标准
ISO 14606:2000