GB/T 2413-1981
现行
T/CEMIA 033-2023
现行
团体标准
T/CEMIA 033-2023 半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管
T/CEMIA 033-2023 Quartz glass tube for 8 in 12 in Semiconductor Process
价格:
$ 26.00
基本信息
标准编号:
T/CEMIA 033-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
电子技术专用材料
发布日期:
2023-06-08
实施日期:
2023-09-08
发布单位/组织:
中国电子材料行业协会
归口单位:
中国电子材料行业协会
页数:
16 页
适用范围
本文件规定了半导体制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管的术语和定义，分类和产品结构，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输。本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管制品，包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管（以下简称“石英玻璃炉管”），不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。
研制信息
起草单位:
上海强华实业股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、北京凯德石英股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司
起草人:
蓝呈、吕红兵、张婷婷、余韦华、周文华、周韦军、李军竹、芦英、杨慧萍、曹永友、张忠恕、王友军
引用标准
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