DZ/T 0101.12-1994
现行
SJ 21258-2018
现行
行业标准-电子
SJ 21258-2018 干法刻蚀设备工艺验证方法
SJ 21258-2018 Technological verification procedures for dry etching equipment
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
SJ 21258-2018
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2018-01-18
实施日期:
2018-05-01
归口单位:
工业和信息化部电子第四研究院
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了干法刻蚀设备工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。 本标准适用于干法刻蚀设备(以下简称刻蚀设备)的工艺性能的验证
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人:
胡晓宇、陈特超、范迎新