GB/T 15678-1995
被代替
YS/T 1068-2015
现行
行业标准-有色金属
YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉
YS/T 1068-2015 Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
基本信息
标准编号:
YS/T 1068-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
贵金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属产品
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
研制信息
起草单位:
贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:
谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋
引用标准
GB/T 5162-1985 金属粉末--振实密度的测定
GB/T 5162-2006 金属粉末 振实密度的测定
GB/T 5162-2021 金属粉末 振实密度的测定
GB/T 6524-2003 金属粉末 粒度分布的测量 重力沉降光透法
GB/T 23275-2009 钌粉化学分析方法 铅、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定 辉光放电质谱法
HB 5220.3-1982 高温合金中硫量的测定
HB 5220.3-2008 高温合金化学分析方法 第3部分:高频感应燃烧-红外线吸收法测定碳含量
HB 5220.49-2008 高温合金化学分析方法 第49部分:脉冲加热-红外、热导法测定氧、氮含量