GB/T 4298-1984
废止
T/TMAC 336-2026
现行
团体标准
T/TMAC 336-2026 离子注入设备用陶瓷静电卡盘
T/TMAC 336-2026 Ion-implantation equipment ceramic electrostatic chuck
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/TMAC 336-2026
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
医用电子仪器设备
国际标准分类名称:
其他半导体分立器件
发布日期:
2026-01-30
实施日期:
2026-01-30
归口单位:
中国技术市场协会
适用范围
本文件适用于离子注入设备用陶瓷静电卡盘的生产制造。 本文件规定了离子注入设备用陶瓷静电卡盘的一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第十二研究所、厦门钜瓷科技有限公司、广东精瓷新材料有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
起草人:
赵世柯、鲁慧峰、陈闻杰、范永民、何庆、陈关亮、王月隆