GB/T 4298-1984
废止
GB/T 32817-2016
现行
国家标准
GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
GB/T 32817-2016 Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
基本信息
标准编号:
GB/T 32817-2016
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
其他半导体分立器件
发布日期:
2016-08-29
实施日期:
2017-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
19 页
适用范围
本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS,但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(MicroTAS)和微能源MEMS]。
研制信息
起草单位:
中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学
起草人:
李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲
引用标准
GB/T 2423.55-2023 环境试验 第2部分:试验方法 试验Eh:锤击试验
GB/T 2423.56-2006 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Fh:宽带随机振动(数字控制)和导则
GB/T 2423.56-2018 环境试验 第2部分:试验方法 试验Fh:宽带随机振动和导则
GB/T 2423.56-2023 环境试验 第2部分:试验方法 试验Fh:宽带随机振动和导则
GB/T 2423.57-2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Ei:冲击 冲击响应谱合成
GB/T 2423.58-2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Fi:振动 混合模式
GB/T 2423.59-2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验Z/ABMFh:温度(低温、高温)/低气压/振动(随机)综合
GB/T 2423.60-2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验U:引出端及整体安装件强度
GB/T 2423.61-2018 环境试验 第2部分:试验方法试验和导则:大型试件砂尘试验
GB/T 2423.62-2018 环境试验 第2部分:试验方法 试验Fx和导则:多输入多输出振动
GB/T 2423.63-2019 环境试验 第2部分:试验方法 试验:温度(低温、高温)/低气压/振动(混合模式)综合
GB/T 2423.64-2023 环境试验 第2部分:试验方法 试验Fj:振动 长时间历程再现
GB/T 2423.65-2024 环境试验 第2部分:试验方法 试验:盐雾/温度/湿度/太阳辐射综合
GB/T 2423.66-2025 环境试验 第2部分:试验方法 试验:温度/湿度/静负载综合
GB/T 2423.101-2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验:倾斜和摇摆
GB/T 2423.101-2025 环境试验 第2部分:试验方法 试验:倾斜和摇摆
GB/T 2423.102-2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 试验:温度(低温、高温)/低气压/振动(正弦)综合
GB/T 2424.1-2005 电工电子产品基本环境试验 高温低温试验导则
GB/T 2424.1-2015 环境试验 第3部分:支持文件及导则低温和高温试验
GB/T 2424.2-1993 电工电子产品基本环境试验规程 湿热试验导则
GB/T 2424.2-2005 电工电子产品环境试验 湿热试验导则
GB/T 2424.5-2006 电工电子产品环境试验 温度试验箱性能确认
GB/T 2424.5-2021 环境试验 第3部分:支持文件及导则 温度试验箱性能确认
GB/T 2424.6-2006 电工电子产品环境试验 温度/湿度试验箱性能确认
GB/T 2424.6-2021 环境试验 第3部分:支持文件及导则温度/湿度试验箱性能确认
GB/T 2424.7-2006 电工电子产品环境试验 试验A和B(带负载)用温度试验箱的测量
GB/T 2424.7-2024 环境试验 第3部分:支持文件及导则 试验A(低温)和B(高温)的温度箱测量(带负载)
GB/T 2424.10-1993 电工电子产品基本环境试验规程 大气腐蚀加速试验的通用导则
GB/T 2424.10-2012 环境试验 大气腐蚀加速试验的通用导则
GB/T 2424.11-2013 环境试验 第2部分:试验方法 试验Kc:接触点和连接件的二氧化硫试验导则
GB/T 2424.12-2014 环境试验 第2部分:试验方法 试验Kd:接触点和连接件的硫化氢 试验导则
GB/T 2424.13-2002 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 温度变化试验导则
GB/T 2424.14-1995 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法 太阳辐射试验导则
GB/T 2424.15-1992 电工电子产品基本环境试验规程 温度/低气压综合试验导则
GB/T 2424.15-2008 电工电子产品环境试验 温度/低气压综合试验导则
GB/T 2424.17-1995 电工电子产品环境试验 锡焊试验导则
GB/T 2424.17-2008 电工电子产品环境试验 第2部分:试验方法试验T:锡焊试验导则
GB/T 2424.19-2005 电工电子产品环境试验 模拟贮存影响的环境试验导则
GB/T 2424.22-1986 电工电子产品基本环境试验规程 温度(低温、高温)和振动(正弦) 综合试验导则
GB/T 2424.23-1990 电工电子产品基本环境试验规程 水试验导则
GB/T 2424.24-1995 电工电子产品环境试验温度(低温、高温)/低气压/振动(正弦)综合试验导则
GB/T 2424.25-2000 电工电子产品环境试验 第3部分:试验导则 地震试验方法
GB/T 2424.25-2024 环境试验 第3部分:试验导则 地震试验方法
GB/T 2424.26-2008 电工电子产品环境试验 第3部分:支持文件和导则 振动试验选择
GB/T 2424.27-2013 环境试验 支持文件和指南 温湿度试验箱不确定度计算
GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB 3100-1993 国际单位制及其应用
GB/T 4728.1-2005 电气简图用图形符号 第1部分:一般要求
GB/T 4728.1-2018 电气简图用图形符号 第1部分:一般要求
GB/T 4728.2-1998 电气简图用图形符号 第2部分 符号要素、限定符号和其他常用符号
GB/T 4728.2-2005 电气简图用图形符号 第2部分:符号要素、限定符号和其他常用符号
GB/T 4728.2-2018 电气简图用图形符号 第2部分:符号要素、限定符号和其他常用符号
GB/T 4728.3-1998 电气简图用图形符号 第3部分 导体和连接件
GB/T 4728.3-2005 电气简图用图形符号 第3部分:导体和连接件
GB/T 4728.3-2018 电气简图用图形符号 第3部分:导体和连接件
GB/T 4728.4-1999 电气简图用图形符号 第4部分:基本无源元件
GB/T 4728.4-2005 电气简图用图形符号 第4部分:基本无源元件
GB/T 4728.4-2018 电气简图用图形符号 第4部分:基本无源元件
GB/T 4728.5-2000 电气简图用图形符号 第5部分:半导体管和电子管
GB/T 4728.5-2005 电气简图用图形符号 第5部分:半导体管和电子管
GB/T 4728.5-2018 电气简图用图形符号 第5部分:半导体管和电子管
GB/T 4728.6-2000 电气简图用图形符号 第6部分:电能的发生与转换
GB/T 4728.6-2008 电气简图用图形符号 第6部分:电能的发生与转换
GB/T 4728.6-2022 电气简图用图形符号 第6部分:电能的发生与转换
GB/T 4728.7-2000 电气简图用图形符号 第7部分:开关、控制和保护器件
GB/T 4728.7-2008 电气简图用图形符号 第7部分:开关、控制和保护器件
GB/T 4728.7-2022 电气简图用图形符号 第7部分:开关、控制和保护器件
GB/T 4728.8-2000 电气简图用图形符号 第8部分 测量仪表、灯和信号器件
GB/T 4728.8-2008 电气简图用图形符号 第8部分:测量仪表、灯和信号器件
GB/T 4728.8-2022 电气简图用图形符号 第8部分:测量仪表、灯和信号器件
GB/T 4728.9-1999 电气简图用图形符号 第9部分:电信:交换和外围设备
GB/T 4728.9-2008 电气简图用图形符号 第9部分:电信:交换和外围设备
GB/T 4728.9-2022 电气简图用图形符号 第9部分:电信:交换和外围设备
GB/T 4728.10-1999 电气简图用图形符号 第10部分:电信:传输
GB/T 4728.10-2008 电气简图用图形符号 第10部分:电信:传输
GB/T 4728.10-2022 电气简图用图形符号 第10部分:电信:传输
GB/T 4728.11-2000 电气简图用图形符号 第11部分 建筑安装平面布置图
GB/T 4728.11-2008 电气简图用图形符号 第11部分:建筑安装平面布置图
GB/T 4728.11-2022 电气简图用图形符号 第11部分:建筑安装平面布置图
GB/T 4728.12-1996 电气简图用图形符号 第12部分:二进制逻辑元件
GB/T 4728.12-2008 电气简图用图形符号 第12部分:二进制逻辑元件
GB/T 4728.12-2022 电气简图用图形符号 第12部分:二进制逻辑元件
GB/T 4728.13-1996 电气简图用图形符号 第13部分:模拟元件
GB/T 4728.13-2008 电气简图用图形符号 第13部分:模拟元件
GB/T 4728.13-2022 电气简图用图形符号 第13部分:模拟元件
GB/T 4937-1995 半导体器件机械和气候试验方法
GB/T 4937.1-2006 半导体器件 机械和气候试验方法 第1部分:总则
GB/T 4937.2-2006 半导体器件 机械和气候试验方法 第2部分:低气压
GB/T 4937.3-2012 半导体器件 机械和气候试验方法 第3部分:外部目检
GB/T 4937.4-2012 半导体器件 机械和气候试验方法 第4部分:强加速稳态湿热试验(HAST)
GB/T 4937.8-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第8部分:密封
GB/T 4937.9-2026 半导体器件 机械和气候试验方法 第9部分:标志耐久性
GB/T 4937.10-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第10部分:机械冲击 器件和组件
GB/T 4937.11-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第11部分:快速温度变化 双液槽法
GB/T 4937.12-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第12部分:扫频振动
GB/T 4937.13-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第13部分:盐雾
GB/T 4937.14-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第14部分:引出端强度(引线牢固性)
GB/T 4937.15-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第15部分:通孔安装器件的耐焊接热
GB/T 4937.16-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第16部分:粒子碰撞噪声检测(PIND)
GB/T 4937.17-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第17部分:中子辐照
GB/T 4937.18-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第18部分:电离辐射(总剂量)
GB/T 4937.19-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第19部分:芯片剪切强度
GB/T 4937.20-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第20部分:塑封表面安装器件耐潮湿和焊接热综合影响
GB/T 4937.21-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第21部分:可焊性
GB/T 4937.22-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第22部分:键合强度
GB/T 4937.23-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第23部分:高温工作寿命
GB/T 4937.24-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第24部分:加速耐湿 无偏置强加速应力试验
GB/T 4937.25-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第25部分:温度循环
GB/T 4937.26-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第26部分:静电放电(ESD)敏感度测试 人体模型(HBM)
GB/T 4937.27-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分:静电放电(ESD)敏感度测试机器模型(MM)
GB/T 4937.28-2026 半导体器件 机械和气候试验方法 第28部分:静电放电(ESD)敏感度测试 带电器件模型(CDM) 器件级
GB/T 4937.29-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第29部分:闩锁试验
GB/T 4937.30-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第30部分:非密封表面安装器件在可靠性试验前的预处理
GB/T 4937.31-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第31部分:塑封器件的易燃性(内部引起的)
GB/T 4937.32-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第32部分:塑封器件的易燃性(外部引起的)
GB/T 4937.33-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第33部分:加速耐湿 无偏置高压蒸煮
GB/T 4937.34-2024 半导体器件 机械和气候试验方法 第34部分:功率循环
GB/T 4937.35-2024 半导体器件 机械和气候试验方法 第35部分:塑封电子元器件的声学显微镜检查
GB/T 4937.36-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第36部分:稳态加速度
GB/T 4937.37-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第37部分:采用加速度计的板级跌落试验方法
GB/T 4937.38-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第38部分:带存储的半导体器件的软错误试验方法
GB/T 4937.39-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第39部分:半导体器件用有机材料的潮气扩散率和水溶解度测量
GB/T 4937.40-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第40部分:采用应变仪的板级跌落试验方法
GB/T 4937.41-2026 半导体器件 机械和气候试验方法 第41部分:非易失性存储器可靠性试验方法
GB/T 4937.42-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第42部分:温湿度贮存
GB/T 4937.44-2025 半导体器件 机械和气候试验方法 第44部分:半导体器件的中子辐照单粒子效应(SEE)试验方法
GB/T 4937.201-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第20-1部分:对潮湿和焊接热综合影响敏感的表面安装器件的操作、包装、标志和运输
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语
IEC 60027(所有部分)
IEC 60747-1:2006
IEC 61193-2
IECQ 03-3:2013
采用标准
IEC 62047-4:2008