GB/T 13840-1992
废止
GB/T 23611-2009
被代替
国家标准
GB/T 23611-2009 金靶材
GB/T 23611-2009 Gold target
基本信息
标准编号:
GB/T 23611-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
贵金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属及其合金
发布日期:
2009-04-15
实施日期:
2010-02-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。
本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材（以下简称金靶材）。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司
起草人:
闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民